Echipamentele din seria CMP dezvoltate independent de LSTD furnizează producători de materiale semiconductoare precum SI, SIC, GaAs, lnP, GaN, CdTe, diamant, etc. Echipamentele de reciclare a plachetelor au intrat în mai multe companii producătoare de semiconductori, cum ar fi SMIC; Linia de producție automată pentru lustruirea cu carbură de siliciu va fi livrată la fabrica clientului pentru producție de probă în Q1 2024;
Pe baza laboratorului inițial, vor fi investiți milioane de yuani pentru a construi camere curate de nivel 100000, nivel 10000 și nivel 100 și echipamente de testare de precizie, care vor fi inspectate și puse în funcțiune în a doua jumătate a anului 2024.
Linie de lustruire a napolitanelor de 6"/8" SiC
Napolitană SiC de 6"/8".
Sala de curatenie clasa 100
Mașină de curățat cu mai multe-slot
Capacitate de inspectie
